鉅大LARGE | 點(diǎn)擊量：1392次 | 2019年08月19日
多晶硅材料的制備
當(dāng)熔融的單質(zhì)硅凝固時(shí),硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核，如果這些晶核長成晶面取向相同的晶粒，則形成單晶硅。如果這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則形成多晶硅。
1）碳還原法
在電弧中，利用純度在99%以上的石英砂和焦炭或木炭在2000℃左右進(jìn)行還原反應(yīng)，可生成多晶硅。
2）三氯氫硅氫還原法
3）硅烷熱分解法
4）四氯化硅氫還原法
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